硅材料生产工艺研究论文

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摘要权威出处:浙江大学 博士论文 2002年 浙江大学 微氮直拉硅单晶的机械性能研究 硅材料是IT产业的基础材料,虽然其光电性能是主要的研究方面,但是硅片加工过程中的损伤、半导体集成电路与器件工艺生产

咨询记录 · 回答于2024-04-28 05:06:52

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