物理气相沉积主题论文

研究揭 示了WC／C涂层在不同滑动模式及配副下的摩擦学特性，对了解该涂层的 损伤机理、抗粘着机理及其工业应用具有重要意义。. （论文第6章） 学位论文作

物理气相沉积（PVD） 物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀，真

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英文指phisical vapor deposition 简称PVD.是镀膜行业常用的术语. PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PV

兰州大学博学位论文摘要类金刚石碳 是一类含有大量 薄膜由于具有高硬度、化学稳定性、高光学透过率和比较宽的光学带隙有非常广泛的应用前景 尤其是作为真空微

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