连云港集成电路工艺论文查重

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摘要集成电路新工艺技术的发展趋势 张卫 摘要:描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。内容包括图形化方案、应变硅技术、超浅结技术

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