激光技术的应用与发展文章

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摘要主流聚焦离子束(FIB)刻蚀技术虽然可以制备微孔结构,但在制孔过程中,被去除的样品易发生再沉积,导致微孔制备深度有限,限制了光波与光子晶体结构之间的耦合,最终

咨询记录 · 回答于2024-05-02 18:34:34

科学网中国激光2022年

主流聚焦离子束(FIB)刻蚀技术虽然可以制备微孔结构,但在制孔过程中,被去除的样品易发生再沉积,导致微孔制备深度有限,限制了光波与光子晶体结构之间的耦合,最终

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