环境检测可靠性测试论文

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王小虎呦优质答主
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摘要1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。 2. 范围 2.1 这份文献定义了

咨询记录 · 回答于2024-05-04 12:19:31

设备可靠性有效性和可维护性测

1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。 2. 范围 2.1 这份文献定义了

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