离子注入机毕业论文

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根据它所能提供的离子束流大小和能量可分为高电流和中电流离子注入机以 及高能量、中能量和低能量离子注入机。 离子注入机的主要部件有：离子源、质量分析

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2008全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集100型MEVVA源离子注入机吴先映1李强张荟星刘安东彭建华射线柬技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学

论文首先介绍了离子注入技术的原理及特点，并与传统的热扩散掺杂进行比 较，在此基础上讨论了在实际工艺中离子注入掺杂时应注意的几个问题。. 由于 离子注入

2.课程内容.微纳制造技术内容包括晶圆清洗、扩散、离子注入、热退火、光刻(包括光学光刻和非光学光刻)、刻蚀(包括干法刻蚀和湿法刻蚀)、沉积(包括物理沉积和化

毕业设计论文离子注入工艺及设备研究电子信息工程系专业微电子技术姓名班级微电103学号1001113110指导教师职称讲师指导教师职称设计时间2012.9.19-2013.1.4摘

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而在21世纪初开发的分子束生长技术、离子注入技术和材料合成、扫描隧道工程可使加工精度达到0.0003-0.0001μm。目前的精密工程正向其终极目标——原子级精度的加工逼近,即可以做到