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基于批量型ALD平台的系统控制研究
吕燚,邹昆,李文生 - 《沈阳工业大学学报》 被引量: 0发表: 2018年 基于LabVIEW的等离子体增强ALD控制系统开发 针对天线线上设备(ALD)安装调试工具普遍存在效率低下,操作繁琐
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《沈阳工业大学学报》是一本面向国内外公开发行的综合性学术期刊,围绕自然科学和工程技术开设包括机械工程、材料科学与工程、电气工程、控制工程、信息科学与工程、建筑工程、经济管理、数学等栏
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1.来稿要求 (1)来稿一律通过登录本刊网站主页提交,初次投稿请先进行“作者注册”,注册后方可投稿,所投稿件请尽量按本刊“论文模版”格式提交。 (2)来稿应有较
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在线期刊. 《沈阳工业大学学报》是由沈阳工业大学主办、国内外公开发行、以自然科学和工程技术为主的综合性学术期刊。. 本刊是由国家科技部批准的国家级刊
沈阳工业大学第一届优秀研究生指导教师 人物经历 陈长征[沈阳工业大学教授] 工学博士,博士后,中国致公党党员。沈阳工业大学教授,博士生导师;本科、硕士、博士分别毕业于吉林大学、
杂志简介. 沈阳工业大学学报创刊于1964年，办刊以来，融指导性、实用性、知识性于一体，发行周期为：双月刊，经过杂志社调整，不断提高了刊物的整体质量，
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