多晶硅技术毕业论文

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摘要摘要本论文主要依据改良西门子法制备多晶硅的工艺流程,分别分析和探讨了多晶硅制造的原料三氯氢硅(TCS)、氢气(H2)以及多晶硅气相沉积(CVD)过程对多晶硅内在质

咨询记录 · 回答于2024-06-15 13:18:01

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